مع التطوير المستمر للدوائر المتكاملة واسعة النطاق، أصبحت عملية تصنيع الرقائق أكثر تعقيدًا، كما أن البنية الدقيقة غير الطبيعية وتكوين المواد شبه الموصلة تعيق تحسين إنتاج الرقائق، مما يجلب تحديات كبيرة لتنفيذ تقنيات أشباه الموصلات والدوائر المتكاملة الجديدة.
توفر GRGTEST تحليلًا وتقييمًا شاملًا لبنية المواد شبه الموصلة لمساعدة العملاء على تحسين عمليات أشباه الموصلات والدوائر المتكاملة، بما في ذلك إعداد ملف تعريف مستوى الرقاقة والتحليل الإلكتروني، والتحليل الشامل للخصائص الفيزيائية والكيميائية للمواد المرتبطة بتصنيع أشباه الموصلات، وصياغة وتنفيذ برنامج تحليل ملوثات المواد شبه الموصلة.
المواد شبه الموصلة، المواد العضوية الجزيئية الصغيرة، المواد البوليمرية، المواد الهجينة العضوية/غير العضوية، المواد غير المعدنية غير العضوية
1. إعداد ملف تعريف مستوى رقاقة الشريحة والتحليل الإلكتروني، استنادًا إلى تقنية شعاع الأيونات المركزة (DB-FIB)، والقطع الدقيق للمنطقة المحلية للشريحة، والتصوير الإلكتروني في الوقت الفعلي، يمكن الحصول على بنية ملف تعريف الشريحة وتكوينها ومعلومات العملية المهمة الأخرى؛
2. تحليل شامل للخصائص الفيزيائية والكيميائية لمواد تصنيع أشباه الموصلات، بما في ذلك المواد البوليمرية العضوية، والمواد الجزيئية الصغيرة، وتحليل تركيب المواد غير العضوية غير المعدنية، وتحليل البنية الجزيئية، وما إلى ذلك؛
٣. وضع وتنفيذ خطة تحليل الملوثات لمواد أشباه الموصلات. تُمكّن هذه الخطة العملاء من فهم الخصائص الفيزيائية والكيميائية للملوثات فهمًا كاملًا، بما في ذلك: تحليل التركيب الكيميائي، وتحليل محتوى المكونات، وتحليل البنية الجزيئية، وتحليل الخصائص الفيزيائية والكيميائية الأخرى.
خدمةيكتب | خدمةأغراض |
تحليل التركيب العنصري للمواد شبه الموصلة | ل تحليل العناصر EDS، ل تحليل العناصر باستخدام مطيافية الأشعة السينية الضوئية الإلكترونية (XPS) |
تحليل البنية الجزيئية للمواد شبه الموصلة | l تحليل طيف الأشعة تحت الحمراء FT-IR، لتحليل الطيف الحيود للأشعة السينية (XRD)، ل تحليل الرنين المغناطيسي النووي (H1NMR، C13NMR) |
تحليل البنية الدقيقة للمواد شبه الموصلة | ل تحليل شريحة شعاع الأيونات مزدوج التركيز (DBFIB)، تم استخدام المجهر الإلكتروني المسحي بالانبعاث الميداني (FESEM) لقياس ومراقبة الشكل المجهري، l المجهر الذري للقوة (AFM) لمراقبة مورفولوجيا السطح |